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光譜分析儀是由哪些元件組成的?

2022-10-25 [1164]
  光譜分析儀以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。其構造由一個入射狹縫,一個色散系統(tǒng),一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域,并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定,分為單色儀和多色儀兩種。
  光譜分析儀應用很廣,在農業(yè)、天文、汽車、生物、化學、鍍膜、色度計量、環(huán)境檢測、薄膜工業(yè)、食品、印刷、造紙、喇曼光譜、半導體工業(yè)、成分檢測、顏色混合及匹配、生物醫(yī)學應用、熒光測量、寶石成分檢測、氧濃度傳感器、真空室鍍膜過程監(jiān)控、薄膜厚度測量、LED測量、發(fā)射光譜測量、紫外/可見吸收光譜測量、顏色測量等領域應用廣泛。
  一臺典型的光譜分析儀主要由一個光學平臺和一個檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個主要部分:
  1.入射狹縫:在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點。
  2.準直元件:使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻T摐手痹梢允且华毩⒌耐哥R、反射鏡、或直接集成在色散元件上,如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
  3.色散元件:通常采用光柵,使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。
  4.聚焦元件:聚焦色散后的光束,使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像,其中每一像點對應于一特定波長。
  5.探測器陣列:光譜分析儀放置于焦平面,用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。
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